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封裝測(cè)試

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雖然不同種類的MEMS從用途來說截然不同,封裝形式也是天壤之別。但是從封裝結(jié)構(gòu)上來說,大致可以分為以下3類:封閉式封裝(ClosedPackage)、開放空腔式封裝(Open Cavity Package)、眼式封裝(Open Eyed Package)。

可靠性測(cè)試是檢驗(yàn)MEMS器件最終成品的一個(gè)重要環(huán)節(jié),可靠性測(cè)試規(guī)范主要涉及到MEMS封裝工藝中的貼片(包括倒裝焊、載帶自動(dòng)焊)、引線鍵合、封蓋等幾個(gè)重要工藝的可靠性測(cè)試。每步工藝的測(cè)試項(xiàng)目可根據(jù)具體器件要求選用。
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雖然不同種類的MEMS從用途來說截然不同,封裝形式也是天壤之別。但是從封裝結(jié)構(gòu)上來說,大致可以分為以下3類:封閉式封裝(ClosedPackage)、開放空腔式封裝(Open Cavity Package)、眼式封裝(Open Eyed Package)。

可靠性測(cè)試是檢驗(yàn)MEMS器件最終成品的一個(gè)重要環(huán)節(jié),可靠性測(cè)試規(guī)范主要涉及到MEMS封裝工藝中的貼片(包括倒裝焊、載帶自動(dòng)焊)、引線鍵合、封蓋等幾個(gè)重要工藝的可靠性測(cè)試。每步工藝的測(cè)試項(xiàng)目可根據(jù)具體器件要求選用。
0512-87816000
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